DT155-NM
Drehtische

Hochauflösender Drehtisch (Piezo Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 79 mm / 3“, Repro ± 0.0003°, Last 4.9 kg, Speed 200°/s
DT155-NM

 

Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung

  • Kompakt und sehr flach (200 x 155 x 35 mm)
  • Wiederholgenauigkeit bis ± 0.0003°
  • Großes Durchlicht von 79 mm / 3"
Optionen:
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Kombinierbar mit der XY Aperture Stage KDT180-NM
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Waferhandling, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

 

DT155    -NM
Verfahrweg [deg]  n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional [deg] ± 0.0003
Wiederholgenauigkeit bidirektional [deg] ± 0.0005
Positioniergeschwindigkeit [deg/s] 200
Max. Geschwindigkeit [deg/s] 300
Max. Last [N] 49
Länge [mm] 200
Breite [mm] 155
Höhe [mm] 35
Gewicht [kg] 1.7
Drehteller  [mm] Ø 150
Apertur  [mm] Ø 79 (3")
Motor   Nanomotion (Piezo)
Lager   2 Dünnringlager
Feedback   Winkelmesssystem 
Auflösung Messsystem   0.00005°
Optionale Zusatzausstattung   kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker, Kombination mit Steinmeyer Standard XY-Kreuztischen, Linarachsen, Hubtischen
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum    alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV 

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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