2PLT165-DLM
Kreuztische
High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 500 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 52 kg, Speed 870 mm/s
High Performance XY Stage
Das Antriebskonzept dieser Linartischkombination aus der PLT165-Serie basiert auf einem Linearmotor und ermöglicht dadurch hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten. Damit eignet sich der präzise Kreuztisch ideal für hochdynamische Anwendungen mit hohen Lasten.
Gemacht für industrielle Anwendungen
Aus den Achsen PLT160-Serie lassen sich flexibel Verfahrwege von 200 - 750 mm mit unterschliedlichen Motorvarianten für Leicht- bis Schwerlastanwendungen kombinieren. Das geschützte Gehäuse und die Metallbandabdeckung gewährleisten Staub- und Partikelschutz in industriellen Umgebungen.
Vielfältige Anwendungsfelder
Zuverlässige 24/7 Positionierung unter stabilen Parametern, präzise Zustellung von Proben, Sensoren oder Optiken, Laserbearbeitung, Halbleitertechnik oder Messtechnik.
| 2PLT165 | -500-DLM-L-400-DLM-L | |
| Art. Nr. | 782300:152.26 | |
| Verfahrweg | [mm] | 500 x 400 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.4 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.5 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 580 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 870 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 12 |
| Max. Last Fx | [N] | 60 |
| Max. Last Fy | [N] | 60 |
| Max. Last Fz | [N] | 520 |
| Länge | [mm] | 800 |
| Breite | [mm] | 700 |
| Höhe | [mm] | 145 |
| Gewicht | [kg] | 45 |
| Führung | Profilschiene | |
| Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet) | |
| Feedback | Linearmesssystem | |
| Messsystem Auflösungen | 0,1 µm Standard, optional bis zu 0,001 µm | |
| Material | Aluminium eloxiert | |
| Optionale Zusatzausstattung | Grundplatte (Granit / Aluminium), Gehäuse, Vorbereitung für Sperrluft, Bremse, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker | |
| Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | |
| Varianten Strahlung | UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |
| Varianten Magnetismus | magnetisch | |
| Varianten Vakuum | auf Anfrage |
Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.
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