Linearachsen

Linearachsen sind universell einsetzbar und lassen sich problemlos in den Aufbau verschiedener Applikationen integrieren.

Antriebsart
Messsystem

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s

Hochlast Linearachse (Linear Motor), Hub bis 2000 mm, Repro ± 0.4 µm, Last bis 25 kg, Speed bis…

High Performance Stage (Linear Motor), Hub 250 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 1500…

Fokus-Linearachse (Spindelantrieb), Hub 25 - 50 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 4.5 kg in X/Y/Z, Speed 60…

Fokus-Linearachse (Spindelantrieb), Hub 25 - 50 mm, Repro ± 1.6 µm, Last 4.5 kg in X/Y/Z, Speed 60…

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

Übersicht Reinraum- & Vakuumsysteme    Technischen Berater kontaktieren

 


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