LA340-EDLM
Linearachsen
High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s
Hochdynamische Linearachse mit Luftlager
Das Antriebskonzept dieser Linearachse basiert auf einem dynamischen Linearmotor und einem linearen Messsystem, wodurch sie hervorragende Werte in Ebenheit und Geradheit für hochdynamische Anwendungen erreicht. Durch den Granitaufbau mit Luftlagerung wird ein partikelfreier Betrieb sowie eine besonders lange Lebensdauer gewährleistet.
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Aufbau von dynamischen und hochpräzisen Mehrachssystemen für Reinraumanwendungen, Halbleitertechnik: Waferinspektion, Vermessung großer Substrate, TFT / OLED Inspektion, Halbleiterdrucker zum Aufbringen von Schichtkomponenten, Biotechnologie: Labordiagnostik, bildbasiertes Inline-Monitoring, High-Speed-Mikroskopie, Laborautomation, Lineartisch für das Präzisionsscannen
| LA340-EDLM | -500-EDLM-L | -1000-EDLM-L | -1500-EDLM-L | -2000-EDLM-L | |
| Verfahrweg | [mm] | 500 | 1000 | 1500 | 2000 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.4 |
| Positioniergenauigkeit | [µm] | ± 1.9 | ± 3 | ± 4.1 | ± 5.2 |
| Ebenheitsabweichung | [µm] | ± 0.8 | ± 1.5 | ± 2.3 | ± 3 |
| Geradheitsabweichung | [µm] | ± 0.8 | ± 1.5 | ± 2.3 | ± 3 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 790 | 1210 | 1630 | 2060 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 1185 | 1815 | 2445 | 3090 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 16 | 25 | 35 | 40 |
| Max. Last Fx | [N] | 100 | 100 | 100 | 100 |
| Max. Last Fy | [N] | 500 | 500 | 500 | 500 |
| Max. Last Fz | [N] | 500 | 500 | 500 | 500 |
| Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 30 | 30 | 30 | 30 |
| Max. Lastmoment My | [Nm] | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 30 | 30 | 30 | 30 |
| Nicken | [µrad] | ± 11 | ± 16 | ± 19 | ± 20 |
| Gieren | [µrad] | ± 11 | ± 16 | ± 19 | ± 20 |
| Länge | [mm] | 1060 | 1560 | 2060 | 2560 |
| Breite | [mm] | 379 | 379 | 379 | 379 |
| Höhe | [mm] | 310 | 310 | 310 | 310 |
| Gewicht | [kg] | 370 | |||
| Gewicht mit Gestell | [kg] | 640 | |||
| Führung | Luftlager | ||||
| Antrieb | Linearmotor | ||||
| Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos) | ||||
| Feedback | Linearmesssystem | ||||
| Messsystem Auflösungen | 0.05 µm (optional bis zu 0.001 µm) | ||||
| Material | Aluminium eloxiert, Granit | ||||
| Optionale Zusatzausstattung | Gestell | ||||
| Varianten Reinraum | bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) | ||||
| Varianten Strahlung | UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | ||||
| Varianten Magnetismus | auf Anfrage | ||||
| Varianten Vakuum | auf Anfrage | ||||
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