KT470-SM
Kreuztische

Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 308 x 308 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 23 kg, Speed 40 mm/s

Hohe Lasten mit großen Verfahrwegen

Der Kreuztisch KT470 mit Schrittmotor wird in der Messtechnik und zur Oberflächeninspektion eingesetzt. Geringe Ablaufwerte, hinsichtlich Geradheit und Ebenheit, können durch den Einsatz von Kreuzrollen erreicht werden. Dies führt zu einer überdurchschnittlichen Wiederholbarkeit, die die Grundlage für eine gute Kompensation bildet. Dies ermöglicht eine extrem hohe Genauigkeit für Messanwendungen.

Positionierung von Lasten bis 230 N mit einem günstigen Antrieb

Reduktion zufälliger Fehler auf ein Minimum

Sehr hohe Zuverlässigkeit mit minimalem Reibungswiderstand durch den Einsatz von geläppten Kreuzrollenführungen

Optionen:

Wahlweise mit DC-Motor oder Schrittmotor
Hochauflösendes Messsystem
Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Kostenoptimiert und zuverlässig positionieren

Je nach Kundenwunsch wird das XY-System mit Schrittmotor oder DC-Motor ausgerüstet. Dabei ist der Gleichstrommotor erste Wahl für Anwendungen mit hohen Drehzahlen sowie kleinen Momenten. Erfordert die Positionieraufgabe dagegen niedrige Leistungen und geringe Drehzahlen, ist der Schrittmotor die passende Variante.

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Waferinspektion, Chipinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Messtechnik, Inspektionssysteme, Werkzeugvermessung

Spezifikationen

KT470		-300-SM
Verfahrweg	[mm]	308 x 308
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 3.3
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 18.9
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 7.5
Geradheitsabweichung	[µm]	± 3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	20
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	40
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.4
Max. Last Fx	[N]	44
Max. Last Fy	[N]	44
Max. Last Fz	[N]	227
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	11
Max. Lastmoment My	[Nm]	11
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	10
Nicken	[µrad]	± 170
Gieren	[µrad]	± 85
Länge	[mm]	470
Breite	[mm]	470
Höhe	[mm]	80
Gewicht	[kg]	36
Führung		Kreuzrolle
Motor		Schrittmotor
Feedback		Open Loop
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		wahlweise mit hochauflösendem Messsystem, Mutternentkopplung, Bremse, Zwangsführung, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Passende Controller

FMC 220

Vielfältig kombinierbarer Controller, ideal für Laboranwendungen, Steuerung von 1 – 128 Achsen gleichzeitig

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

CAD-Daten/Datenblätter

STM_KT470-300-SM_XY-stage_data-sheet.pdf

STM_KT470-300-DC_SM_xy-stage-step-file.zip

STM_KT470-DC-SM_xy-stage_interface.PDF

Systeme mit KT470-SM

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Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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