KDT105-PM
Kreuztische

XY Piezo-Scanning-Stage, Hub 50 x 50 mm, Apertur 50 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 7.5 mm/s

Hochkompakt für anspruchsvolle Umgebungen

Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Gemessen an seiner Größe von 150 x 150 x 50 mm verfügt er über einen großen Verfahrweg von 50 mm in X- und Y-Richtung.

Hohe Wiederholgenauigkeit bis ± 0.3 µm

Große Apertur von 40 x 40 mm

Flexibel anpassbar für anspruchsvolle Umweltbedingungen

Optionen:

Mit und ohne Durchlicht
Ausführung mit Nanomotion oder Piezo Motor
Flexibel kombinierbar zu XYZ-R Mehrachssystemen z.B. Drehtisch DT105, Hubtisch HT160, MT105
Verschiedene Varianten für Reinraum, Strahlung, Vakuum und Magnetismus

Anwendungsfelder

Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, Halbleiterinspetion, Bioprinting, Superresolution-Mikroskopie, Scanning-Mikroskopie, 3D-Imaging, Screening, Vakuumkammern, Halbleitertests, Forschung, Experimentalphysik, Krebszellen-Forschung

Spezifikationen

KDT105		-50-PM
Verfahrweg	[mm]	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.4
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 4
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 4
Geradheitsabweichung	[µm]	± 3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	7.5
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.1
Max. Last Fx	[N]	5
Max. Last Fy	[N]	5
Max. Last Fz	[N]	45
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	0.7
Max. Lastmoment My	[Nm]	0.7
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	0.6
Nicken	[µrad]	± 180
Gieren	[µrad]	± 50
Länge	[mm]	150
Breite	[mm]	150
Höhe	[mm]	50
Gewicht	[kg]	2.5
Apertur	[mm]	40 x 40
Führung		Kreuzrolle
Motor		Piezo Motor
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0,005 µm, optional bis zu 0,001 µm
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch DT105, Z-Achse HT160 / MT105, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Passende Controller

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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