Kreuztische
XY Aperture Stage (Linearmotor), Hub 385 x 385 mm, Apertur 400, Repro 0.3 µm, Last 23 kg, Speed 500…
XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 155 x 155 mm, Apertur 170 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 11 kg,…
XY Scanning-Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 1.1 µm, Last 5 kg, Speed…
XY Scanning Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 5 kg, Speed…
Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.
Übersicht Reinraum- & Vakuumsysteme Technischen Berater kontaktieren
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