Kreuztische

Unsere hochpräzisen Kreuztische sind universell einsetzbar und entsprechen mit ihren Ablaufwerten den speziellen Anforderungen, die gerade in der Mess- und Prüftechnik von höchster Bedeutung sind.

Antriebsart
Messsystem

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 400 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 100 kg, Speed 1050…

XY Aperture Stage (Linearmotor), Hub 385 x 385 mm, Apertur 400, Repro 0.3 µm, Last 23 kg, Speed 500…

Hochlast XY Stage (Linearmotor), Hub 450 x 450 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 30 kg, Speed 500 mm/s

Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 1.3 µm, Last 30 kg, Speed…

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 350 x 350 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 300 mm/s

Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 300 x 300 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 23 kg, Speed…

Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 308 x 308 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 23 kg, Speed…

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 320 x 320 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 150 mm/s

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 155 x 155 mm, Apertur 170 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 11 kg,…

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 100 x 100 mm, Apertur 150 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 7 kg,…

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 100 x 100 mm, Apertur 150 mm, Repro ± 1.6 µm, Last 7 kg,…

Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 100 x 100 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 28 kg, Speed…

Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 100 x 100 mm, Repro ± 1.6 µm, Last 28 kg, Speed…

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 0.7 µm, Last 11 kg, Speed 60 mm/s

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 11 kg, Speed 20 mm/s

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 210 x 210 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 8 kg, Speed 225 mm/s

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 300 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 49 kg, Speed 1185…

XY Mikroskopie Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 100 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 8 kg,…

XY Mikroskopie Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 100, Repro ± 1.6 µm, Last 8 kg,…

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 110 x 110 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 300 mm/s

Hochpräziser XY Piezo-Kreuztisch, Hub 100 x 100 mm, Apertur 115 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 5 kg,…

Hochpräziser XY Piezo-Kreuztisch, Hub 100 x 100 mm, Apertur 115 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg,…

XY Scanning-Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 1.1 µm, Last 5 kg, Speed…

XY Scanning Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 5 kg, Speed…

XY Mikroskopie Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Repro ± 0.5 µm, Last 6 kg, Speed 5 mm/s

XY Mikroskopie Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Repro ± 1.2 µm, Last 6 kg, Speed 3 mm/s

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 500 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 52 kg, Speed 870…

XY Piezo-Scanning-Stage, Hub 50 x 50 mm, Apertur 50 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 7.5 mm/s


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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