DT155-NM
Drehtische

Hochauflösender Drehtisch, Verfahrweg unbegrenzt, Repro bis 0.0003°, Speed bis 300°/s, Last bis 0.5 kg

Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung

Kompakt und sehr flach (200 x 155 x 35 mm)

Wiederholgenauigkeit bis ± 0.0003°

Großes Durchlicht von 79 mm / 3"

Optionen:

Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Kombinierbar mit der XY Aperture Stage KDT180-NM
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Waferhandling, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

Spezifikationen

DT155		-NM
Verfahrweg	[deg]	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.0003
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.0005
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	200
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	300
Max. Last	[N]	49
Länge	[mm]	200
Breite	[mm]	155
Höhe	[mm]	35
Gewicht	[kg]	1.7
Drehteller	[mm]	Ø 150
Apertur	[mm]	Ø 79 (3")
Motor		Nanomotion (Piezo)
Lager		2 Dünnringlager
Feedback		Winkelmesssystem
Auflösung Messsystem		0.00005°
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker, Kombination mit Steinmeyer Standard XY-Kreuztischen, Linarachsen, Hubtischen
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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