XYZ Doppel-Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo
Portale

782430:002.26

Hochpräzise Qualitätssicherung mit hohem Durchsatz für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Jeweils eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor pro Seite wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren.

Automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion

Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten

Inspektion mehrerer Objekte gleichzeitig durch Verfahrwege bis 720 mm

Ideal für die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig

Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Besonderheiten:

Reinraumtauglichkeit für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 2 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
Verfügbar auch als Einzelportal
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Inspektion großer Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chips, Messung mit Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

Spezifikationen

782430:002.26		X	Y	Z
Standard System		PMT290-EDLM	PMT290-EDLM
Verfahrweg	[mm]	720	720	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 1.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.7	± 0.7	± 2.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	750	750	150
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	1500	1500	300
Max. Last	[N]	150	150	± 200
Max. Probengröße	[Ø]	12 inch / 300 mm
Länge x Breite x Höhe	[mm]	1230 x 1200 x 1030
Antrieb		Linearmotor	Linearmotor	Servomotor, Kugelgewindetrieb
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	AC Servo
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder
Reinraum Varianten		bis ISO Klasse 2
Strahlung Varianten		auf Anfrage

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.