MT130-3-3 Miniatur-6-Achs-Aligner, kartesische Linearanordnung mit euzentrischer Drehverstellung | Hub XYZ 50 x 50 x 50 mm, Rxyz 4 x 4 x 4°
Kompakte Mehrachssysteme

782474:003.26

Hochkompakter 6-Achs-Aligner

Dieser Manipulator kombiniert die linearen Bewegungen des MP130 mit weiteren drei rotativen Bewegungen von ± 2 Grad.

µm-Präzision durch die hohe Steifigkeit

gute Ablaufwerte

minimaler Reibungswiderstand durch Kreuzrollenführung

Optionen:

Wahlweise mit Schrittmotor
Zusätzliche Probenhalterung und Drehtisch
Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochkompakte Ausrichtung in 6 Freiheitsgraden z.B. Faserjustage, Mikrobearbeitung und Mikromontage, in der Forschung und Entwicklung, Sondermaschinenbau, Ausrichtung optischer Komponenten/Bauteile, automatisierte Wafer-Tests, Aufbau-und Verbindungstechniken in der Siliziumphotonik

Spezifikationen

MP130-3-3		X	Y	Z	Rx	Ry	Rx
Standard System		MP130-DC	MP130-DC	MP130-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	50	50	50	4	4	4
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 2.5	± 2.5	± 2.5	± 0.0015	± 0.0015	± 0.0015
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 4.5	± 4.5	± 4.5	± 0.0025	± 0.0025	± 0.0025
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	30	30	30	2	2	2
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	60	60	60	4	4	4
Max. Last	[N]				5	5	5
Länge x Breite x Höhe	[mm]	288 x 180 x 185
Gewicht	[kg]	15
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1214.527/2.8.78.103 P3P, Riemen			Exzenter
Steigung		2 mm
Führung		Kreuzrolle
Motor		DC-Motor
Feedback		Motor-Encoder
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		wahlweise mit Schrittmotor (Wiederholgenauigkeit unidirektional ± 2.3 µm / bidirektional ± 4.3 µm), Probenhalter, Drehtisch, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.