MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Linearmesssystem | Repro ± 1.5 µm | Hub 40 x 40 x 40 mm
Kompakte Mehrachssysteme

782327:060.26

Hochpräzises kartesisches XYZ-System

Das XYZ-Positioniersystem ist ein kartesisch angeordnetes Positioniersystem aus drei Miniatur-Lineartischen (3 x MT95). Es erreicht mit seinen Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der kräftige Antrieb aus speilfreiem Getriebe und Kugelgewindetrieb ist vollständig im Positioniersystem verbaut, wodurch es sich ideal für begrenzte Bauräume eignet.

Ideal zum Ausrichten von Komponenten und weiteren Achsen

XYZ-Stellwege bis 40 mm auf kleinstem Bauraum (145 x 95 x 130 mm)

Sehr hochauflösende, schrittweise Korrekturen in den drei lateralen Richtungen

Wiederholgenauigkeit bis 1.5 µm

Optionen:

Anpassung an den Prozess: Prüfling, Probenhalterung, Zuführung, Sensor
Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Ausführung für 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsbereiche

Mikrobearbeitung und Mikromontage, Aufbau von Mehrachsanwendungen zum Ausrichten von Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), Wafer Probe Tests, Optikmontage, Halbleitertesting, Laborautomatisierung, Forschung und Entwicklung, Sondermaschinenbau

Spezifikationen

782327:060.26		X	Y	Z
Verfahrweg	[mm]	40	40	40
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 1.5	± 1.5	± 1.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 3.5	± 3.5	± 3.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	1.1	1.1	1.1
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	2.2	2.2	2.2
Max. Last	[N]	30	65	65
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Antrieb		Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb
Feedback		Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder
Länge x Breite x Höhe	[mm]	145 x 95 x 131

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.