MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5°
Kompakte Mehrachssysteme

782459:003.26

Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit großer Apertur

Mit diesem flachen Aligner werden zwei translative Bewegungen von ± 5 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von ± 3° realisiert. Die Bewegung R (Phi) resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis 28 kg ausgelegt.

Ideal zur hochpräzisen Ausrichtung von großer Substrate, Masken, Rahmen

Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 730 x 730 mm

Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm / ± 0.0002° bei Lasten bis 28 kg

Ultra flache Bauweise von 990 x 1090 x 225 mm

Wartungs- und partikelarm durch Luftlager und Direktantrieb

Optional:

Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung der Z-Achse
Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 bis Klasse 5 (höher auf Anfrage)
Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Positionierung großer Substrate, Masken, Rahmen, Sieben, Druckplatten in partikelarmer Umgebung, Halbleiterprinter zum Aufbringen von Schichtkomponenten, UV Drucker, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen

Spezifikationen

782459:003.26		X	Y	Rz
Verfahrweg	[mm; deg]	± 5	± 5	± 3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4	± 0.0002
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.7	± 0.7	± 0.0003
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	50	50	10
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	100	100	20
Max. Last	[N]	5	5	100
Gewicht	[kg]	63
Länge x Breite x Höhe	[mm]	990 x 1090 x 225
Apertur	[mm]	730 x 730
Führung		Luftlager	Luftlager	Luftlager
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	Dynamischer Linearmotor (eisenlos)
Feedback		Linear Encoder	Linear Encoder	Linear Encoder
Material		Aluminium eloxiert
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.