MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm | Hub 25 x 25 x 25 mm
Kompakte Mehrachssysteme

782327:092.26 (782327:003.24)

Extrem kompaktes 3-Achs-Justiersystem

Dieses miniaturisierte XYZ-System ist ideal für Positionieranwendungen mit geringem Platzbedarf. Kombiniert mit einer Feingewindespindel erreicht die XYZ Stage sehr hohe Auflösungswerte. Gleichzeitig überzeugt dieses hochpräzise Positioniersystem mit einem sehr guten Preis-Leistungs-Verhältnis.

sehr hohe Auflösungswerte

ideal für enge Bauräume

Belastbarkeit bis 10N

feineres Einjustieren bei Applikationen durch einen Feingewindespindel

lange Lebensdauer und besonders präzise Bewegung durch Profilschienenführung

Anwendungsfelder

Mikrobearbeitung und Mikromontage, in der Forschung und Entwicklung, Sondermaschinenbau, Ausrichtung optischer Komponenten / Bauteile, automatisierte Wafer-Tests, Aufbau-und Verbindungstechniken in der Siliziumphotonik

Spezifikationen

MP63-DC		X	Y	Z
Standardsystem		MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm]	25	25	25
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.8	± 0.8	± 0.8
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 3.8	± 3.8	± 3.8
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	1.8	1.8	0.9
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	3.6	3.6	1.8
Max. Last	[N]	10	10	10
Länge x Breite x Höhe	[mm]	112 x 63 x 64
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Profilschiene
Feedback		Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder

MP63-SM		X	Y	Z
Standardsystem		MT63-SM	MT63-SM	MT63-SM
Verfahrweg	[mm]	25	25	25
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 1	± 1	± 1
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4	± 4	± 4
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	1.3	1.3	1.3
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	2.6	2.6	2.6
Max. Last	[N]	10	10	10
Länge x Breite x Höhe	[mm]	112 x 63 x 64
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Schrittmotor
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Profilschiene
Feedback		-	-	-

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.