MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm
Kompakte Mehrachssysteme

782325:040.26 (782325:110.24)

Hochauflösender Mikropositionierer

Das Positioniersystem MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern realisieren. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.

Ideal für schmale Bauräume

Auflösungen im Submikrometerbereich

Belastbarkeit bis 5 N

Zuverlässige und gleichbleibende Qualität durch eine hochpräzise Positionierung

Optionen:

Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm
Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen
Ausführungen für Vakuum bis 10^-11 mbar oder Reinraum ISO 14644-1 Klasse 6 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Anwendungsfelder

Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Probenvorbereitung, Probenscan, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse

Spezifikationen

MP53-3		X	Y	Z
Standardsystem		MT53	MT53	MT53
Verfahrweg	[mm]	10	10	10
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.2	± 0.2	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 0.3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5
Max. Last	[N]	5	5	5
Motor		Piezo Motor	Piezo Motor	Piezo Motor
Führung		Kreuzrolle	Kreuzrolle	Kreuzrolle
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Länge x Breite x Höhe	[mm]	86 x 53 x 59

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.