MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
Kompakte Mehrachssysteme

782476:001.26

Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb

Mit diesem Aligner werden zwei translative Bewegungen von 15 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 5 Grad realisiert. Die Bewegung R (Phi) resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis zu 25 kg ausgelegt. Die Durchlichtöffnung erlaubt eine Transfermessung.

Außergewöhnliche Präzision im Hochvakuum

Ideal für Transfermessungen unter Vakuum bis 10^-6 mbar

Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 235 mm

Hohe Wiederholgenauigkeiten bis 1.6 µm bei einer Nutzlast von 25 kg

Ideale Kraftübertragung durch einen spielfreien Kugelgewindetrieb

Optimiertes Preis-Leistungs-Verhältnis bei gleichzeitig präzisen Ablaufwerten

Optional:

Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Zuführung, Sensor
Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

HV / UHV Wafer-Inspektion, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben im Hochvakuum, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen, Montageaufgaben, Ausrichten von Teilen vor dem Fügen

Spezifikationen

782476:001.26		X	Y	Rz
Standardsystem		LA85	LA85	LA85
Verfahrweg	[mm; deg]	± 15	± 15	± 5
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.6	± 1.6	± 0.001
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.1	± 2.1	± 0.002
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	30	30	15
Spitzengeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	60	60	30
Max. Last	[N]	250	250	250
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Schrittmotor
Antrieb		Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb
Feedback		Open Loop	Open Loop	Open Loop
Apertur	[mm]	235
Länge x Breite x Höhe	[mm]	545 x 484 x 95

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.