MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg
Kompakte Mehrachssysteme

AB_EM TO MP220-4

Kardan auf XY Stage mit Apertur

Dieser XY Phi Delta Aligner besteht aus drei zwei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mit einer beweglichen Lastplatte verbunden sind. Die Lastplatte lässt sich in zwei Achsen kippen und der darunter liegende Apertur-Durchlichttisch ermöglicht zusätzlich eine XY-Bewegung.

Ideal für die optische und aktive Ausrichtung von hohen Lasten bis 10 kg

Großes Durchlicht für hochauflösende Scan-Anwendungen

Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

Drehung um die Hauptachse mit einem zusätzlichen Drehtisch
Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Erweiterte Verfahrwege in XY-Richtung
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment), Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Auflichtmessungen, Durchlichtmessung, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests

Spezifikationen

MP220-4		X	Y	Rx	Ry
Verfahrweg	[mm; deg]	(20) 10	(20) 10	4	4
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 0.003	± 0.003
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 1	± 1	± 0.01	± 0.01
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	2	2	0.1	0.1
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	4	4	0.2	0.2
Max. Last	[N]				100
Länge x Breite x Höhe	[mm]	235 x 220 x 100
Apertur	[mm]	Ø 45
Antrieb		Gleitgewinde	Gleitgewinde	Gleitgewinde	Gleitgewinde
Spindel Typ		M5,55625x0,6096
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Schrittmotor	Schrittmotor
Feedback		Open Loop	Open Loop	Open Loop	Open Loop
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, kalbellose Energiezuführung für Endlosdrehung
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)
Bemerkung		Drehpunkt fix 25mm unter Tischfläche. Für ortsfesten Beobahtungspunkt beim Kippen mit Verschiebung korrigieren.

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.