MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm
Kompakte Mehrachssysteme

782327:001.26, 782327:002.26

Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5"

Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines Probenhalters für hochstabile beidseitige Auflicht- und Durchlichtmessungen. Das Beladen und Fokussieren wird durch die Vertikalbewegung mit einem Hub von 25 mm realisiert. Der Halter ist für runde Proben wie Lichtleiterfasern oder kleinere Wafer ausgelegt und kann auf diverse Größen und Prozesse angepasst werden.

Hohe Präzision bei Temperaturunterschieden

Ideal für enge Bauräume und schwankende Temperaturen von 0 - 40°C

Stellwege bis 25 mm auf kleinstem Raum

Absolute Positionsstabilität, auch bei Motor-Abschaltung

Gleichbleibende Messergebnisse durch eine hohe Wiederholgenauigkeit

Optional:

Anpassung an den Prozess: Prüfling, Probenhalterung, Zuführung, Sensor.
Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Referenzen

Positionierung von Lichtleiterfasern für das Leibnitz-Institut für Astrophysik Potsdam | Versuchsaufbau Labor/Teleskop PEPSI Arizona | Einsatz Nachts (ca. 0 - 40°C), 3.500 m ü.n.N, geringe Luftfeuchte

Anwendungsfelder

Hochstabile Inspektion von Proben bis 5 inch / 140 mm unter Temperaturschwankungen, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, AOI, Qualitätssicherung, Wafer, Lichtleiterfasern und Chipträgern, Oberflächenprüfung

Spezifikationen

782327:001.26, 782327:002.26		X	Y	Z
Standardsystem		MT63	MT63	MT63
Verfahrweg	[mm; deg]	25	25	25
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.8	± 0.8	± 0.8
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 3.8	± 3.8	± 3.8
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.8	1.8	1.8
Spitzengeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	3.6	3.6	3.6
Max. Last	[N]	10	11	11
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Antrieb		Gleitgewindetrieb	Gleitgewindetrieb	Gleitgewindetrieb
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Länge x Breite x Höhe	[mm]	206 x 259 x 137 mm

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.