MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5°
Kompakte Mehrachssysteme

782497:013.26

Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller

Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine fünf Freiheitsgrade extrem gleichbleibend. Das System kann in allen drei Raumachsen verfahren werden. Zusätzlich lässt es sich in zwei Winkeln in der Ebene verkippen.

extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm

maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in R_x und R_y

Belastbarkeit bis 20 N

feinste Zustellbewegungen bis 0.07 µm durch robuste, selbsthaltende Gleitgewindeantriebe

höchste Störungsresistenz durch die Lagerung durch Festkörpergelenke

absolut gleichbleibende Wiederholgenauigkeit bis ± 0.5 µm über alle Freiheitsgrade

sehr kompakt durch die integrierte 5-Achs-Ansteuerelektronik

einfache Stromversorgung und eine Standard-Datenschnittstelle bilden die Verbindung zum übergeordneten System

Drahtlose Daten- und Energieübertragung

In Kombination mit einem hochgenauen Drehtisch werden Rundheitsmessungen an zylindrischen Objekten ermöglicht. Als einziger Positioniertisch dieser Art werden die Energie- und Ansteuerungsdaten hierbei drahtlos übertragen. Hierdurch werden präzise Ablaufwerte ohne störende Effekte durch Schleifkontakte realisiert – eine Bedingung für den Einsatz in der modernen Messtechnik.

Anwendungsfelder

Hochgenaue Ausrichtung von Objekten in Fertigungs- und Messeinrichtungen, Rotationstomographie, CT-Vermessungen, 3D-Inspektion von Bauteilen, Rundheitsmessgeräte, Halbleterinspektion, optische Zentriersysteme, Kalibrierungssysteme oder allgemeine Inspektionssysteme.

Spezifikationen

MP200-5 (782497:014.26)		X	Y	Z	Rx	Ry
Standard System		MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	4	4	4	3	3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 0.5	± 0.00005	± 0.00005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.5	± 2.5	± 2.5	± 0.00020	± 0.00020
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1	1	1	0.8	0.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.8	1.8	1.8	1.5	1.5
Max. Last	[N]	20
Länge x Breite x Höhe	[mm]	235 x 200 x 100
Apertur	[mm]	Ø 45
Gewicht	[kg]	10
Antrieb		Gleitgewinde, Riemen
Spindel Typ		M5x0,5
Motor		DC-Motor
Feedback		Motor Encoder
Messsystem Auflösung		0.1 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium Eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, kalbellose Energiezuführung für Endlosdrehung
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.