MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5°
Kompakte Mehrachssysteme

Art. ID 225692 / 782497:008.26 (-5)

Tripod mit Durchlicht

Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf Freiheitsgraden ermöglicht, wurde dieser Aligner mit drei Freiheitsgraden konstruiert. Er besteht intern aus drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen.

Ideal für die optische und aktive Ausrichtung

Leichte Ansteuerbarkeit einzeln oder parallel

Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

Drehung um die Hauptachse mit einem zusätzlichen Drehtisch
Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Erweiterte Verfahrwege in XY-Richtung
Ausführung für Reinraum bis ISO Klasse 4, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Einsatz in der Waferinspektion und für hochgenaue Montageaufgaben

Da oft eine Ausrichtung der Werkstücke ausreichend ist, kann die vertikale Verstellung, insbesondere in der Optikmontage, zum Ausgleich verschieden hoher Linsepakete genutzt werden. Zudem lässt sich aus diesem Manipulator und einem Kreuz-Durchlicht-Tisch oder Kreuztisch ein 5-Achs-Manipulator mit großem Verfahrweg in XY realisieren. Als XY-Systeme kommen dafür beispielsweise der KDT310, KT310 oder der KDT235 in Frage.

Spezifikationen

MP200-3		Z	Rx	Ry
Standard System		MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	4	3	3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.00005	± 0.00005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.5	± 0.00020	± 0.00020
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1	0.8	0.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.8	1.5	1.5
Max. Last	[N]	20
Länge x Breite x Höhe	[mm]	200 x 200 x 80
Apertur	[mm]	Ø 45
Gewicht	[kg]	6.5
Antrieb		Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen
Spindel Typ		M5x0,5	M5x0,5	M5x0,5
Steigung		0.5	0.5	0.5
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Feedback		Motor Encoder	Motor Encoder	Motor Encoder
Messsystem Auflösung		0.1 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium Eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, kalbellose Energiezuführung für Endlosdrehung
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.