5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100 mm, Z 4 mm, Rx Ry 4°
Kompakte Mehrachssysteme

228665 MP200-3+KDT 235

Tripod auf XY Stage mit Apertur

Dieser Aligner ist mit 5 Freiheitsgraden konstruiert. Der Tripod besteht intern aus dem MP200-3 drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen, die mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden sind. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Der Tripod ist auf Durchlicht-Scantisch KDT235 für eine zusätzliche XY-Bewegung aufgesetzt.

Ideal für die optische und aktive Ausrichtung

Ansteuerbarkeit: X,Y Richtung einzeln und Rx, Ry, Z parallel

Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

Drehung um die Hauptachse mit einem zusätzlichen Drehtisch
Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Erweiterte Verfahrwege in XY-Richtung
Ausführung für Reinraum bis ISO Klasse 4, Vakuum, Labor oder Produktion
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment), Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Auflichtmessungen, Durchlichtmessung, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests

Spezifikationen

MP200-3 + KDT235 (228665)		X	Y	Z	Rx	Ry
Standard System		KDT235-SM	KDT235-SM	MT63-DC	MT63-DC	MT63-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	50	50	4	3	3
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.6	± 1.6	± 0.5	± 0.00005	± 0.00005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.1	± 2.1	± 2.5	± 0.00020	± 0.00020
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	10	10	1	0.8	0.8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	20	20	1.8	1.5	1.5
Max. Last	[N]			20
Länge x Breite x Höhe	[mm]	235 x 235 x 170
Apertur	[mm]	Ø 45
Gewicht	[kg]	14
Antrieb		Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb	Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen	Gleitgewinde, Riemen
Spindel Typ		1214.20/1.8.88.138 P3P		M5x0,5	M5x0,5	M5x0,5
Steigung		1	1	0.5	0.5	0.5
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor
Feedback		Open Loop	Open Loop	Motor Encoder	Motor Encoder	Motor Encoder
Messsystem Auflösung		0.1 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch, Probenhalter, Motion Controller, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgritter, Laserscanner, STO, SLS)
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch (magnetarm auf Anfrage)
Varianten Vakuum		bis 10E-6 mbar (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.