XZ System für Labor- und Waferinspektion | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle, Linearmesssystem
Kombinationen Labortische

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Hochpräzises und modulares 2-Achs-System

Diese XZ-Kombination besteht aus den hochpräzisen und langlebigen Standard-Linearachsen des PMT160. Diese Kombination eignet sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen. Das XZ-System ist sofort betriebsbereit mit Controller und arbeitet mit zuverlässigen Parametern.

Flexibel, sofort betriebsbereit und getestet

Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik

Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm

Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit bei vergleichsweise hoher Positioniergeschwindigkeit von 30 mm/s

Perfekte Ebenheit von 1 µm bei der Positionierung mittlerer Lasten bis 5 kg

Optional konfigurierbar:

Unterschiedliche Verfahrwege je Achse von 50 - 300 mm
Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT130 oder DT200
Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor, Schrittmotor, Linearmotor und Nanomotion
Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Waferinspektion, Schichtmessung, Labortestsysteme, Automatische optische Inspektion (AOI), 3D Aufnahmen, Mikroskopie, Bildgebungssysteme, Mehrachssystem für Laboranwendungen, Qualitätssicherung, 3-Achs Sensorvermessung, Halbeiterinspektion, Waferinspektion

Spezifikationen

782300:186.26		X	Z
Verwendete Standard-Komponente		PMT160-DC	PMT160-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	300	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.2	± 2.2
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	25	1.12
Max. Last	[N]	45	150
Motor		DC-Motor	DC-Motor
Antrieb		Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.