X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem
Kombinationen Labortische

782300:212.26

Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen

Dieses X-Phi-Positionierssystem besteht aus hochpräzisen und langlebigen Standardachsen des Lineartisches PMT160 und für die Drehung den DTS130-HM. Er eignet sich ideal für Messanwendungen, bei denen die Probe präzise in Messposition gefahren wird und damit keine zusätzliche Zuführachse nötig ist.

Hochpräzise und zuverlässige Messergebnisse

Ideal zur optischen Vermessung von runden Teilen z.B. Wafer, Optiken

Spart die zusätzliche Anschaffung einer Zuführachse ein durch hochgenaue Drehbewegungen mit Hub

Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.0017°

Fährt 1.9 µm präzise mit X in die Messposition

Optional konfigurierbar:

Verfahrwege bis 300 mm
Grundplatte aus Granit oder Aluminium
Wahlweise mit innen liegendem Maßstab (270 mm)
Kombinierbar mit weiteren Drehtischen z.B. DT200
Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 möglich
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus passen wir die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Staub, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Ideal für die zweidimensionale optische Erfassung von Rauheiten, Strukturabbildungen, Oberflächenstrukturen, Laboranwendung, Halbleiterinspektion, optische Inspektionssysteme, Qualitätssicherung, Bewegungssystem Tastschnittmessgerät

Spezifikationen

782300:212.26		X	Phi (Rz)
Verwendete Standard-Komponente		PMT160-DC	DTS130
Verfahrweg	[mm; deg]	135	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.9	± 0.0017
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2.4	± 0.005
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s, deg/s]	10	50
Max. Last	[N]	150	74
Motor		DC-Motor	AC-Servo
Antrieb		Kugelgewindetrieb
Feedback		Linearmesssystem	Winkelmesssystem

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.