XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 300 x 300 mm x 360°
Kombinationen aus Industrieachsen

782300:189.26

Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6"

Das XY Phi Positioniersystem besteht aus zwei Lineartischen PLT165 (X- und Y-Achse) und einem Drehtisch DT200 (Phi-Achse). Das geschützte Gehäuse und die Metallbandabdeckung gewährleisten Staub- und Partikelschutz in industriellen Umgebungen.

Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen

Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004°

Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s

Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen

Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung

Optionen:

Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

Spezifikationen

782300:189.26		X	Y	Rz
Standard System		PLT165-300-DLM	PLT165-300-DLM	DT200-DC-R
Verfahrweg	[mm; deg]	300	300	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4	± 0.004
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 0.007
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	500	500	35
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1000	1000	70
Max. Last	[N]	60	60	68
Gewicht	[kg]	40
Länge x Breite x Höhe	[mm]	600 x 690 x 205
Apertur Durchmesser	[mm]	66
Max. Durchmesser der Probe		150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung)
Führung		Profilschiene	Profilschiene
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	DC Motor
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder
Optionale Zusatzausstattung		Winkelmesssystem, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgritter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.