XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45°
Kombinationen aus Industrieachsen

782300:145.26

Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6"

Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus zwei Lineartischen PLT320 (X- und Y-Achse), einem Hubtisch HT160 (Z-Achse) und einem Drehtisch DT200 (Phi-Achse) und ist geschlossen und partikelarm aufgebaut.

Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen

Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004°

Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s

Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen

Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung

Optionen:

Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Anwendungsfelder

Partikelarme XYZ-R Linear-Hub-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

Spezifikationen

782300:145.26		X	Y	Z	Rz
Standard System		PLT320-DLM-L	PLT320-DLM-L	HT160-DC-R	DT200-DC-R/W
Verfahrweg	[mm; deg]	450	350	16	45
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4	± 1.6	± 0.004
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 2.6	± 0.007
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	500	500	8	35
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1000	1000	16	70
Max. Last	[N]	250	250	45	68
Gewicht	[kg]	125
Länge x Breite x Höhe	[mm]	960 x 860 x 335
Apertur Durchmesser	[mm]	66
Max. Durchmesser der Probe		150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung)
Spindel Typ				1214.564/1.8.88.124 T5
Spindel Steigung				1
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Kreuzrolle	Zahnriemen
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	DC Motor	DC Motor
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder	Motor-Encoder
Messsystem Auflösungen		0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm	0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm	0,042 µm, optional bis zu 0,001 µm	0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.