Halbleiterinspektion | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor
Kombinationen aus Industrieachsen

782300:143.26

Das System besteht aus einem Lineartisch PLT320 (X-Achse), einem Lineartisch PLT240 (Y-Achse) und einem Hubtisch HT240 (Z-Achse).

Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Hubtisch mit einem AC-Motor angetrieben.

Spezifikationen

782300:143.26		X	Y	Z
Standard System		PLT320-DLM-L	PLT240-DLM-L	HT240-AC-L
Verfahrweg	[mm]	650	300	25
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.5	± 0.5	± 1.2
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	790	530	8
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	1580	1060	16
Max. Last	[N]	150	150	410
Gewicht	[kg]	135
Länge x Breite x Höhe	[mm]	1160 x 710 x 320
Antrieb				Kugelgewindetrieb
Spindel Typ				1412.547/1.12.145.175 P3P
Spindel Steigung				1
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Profilschiene
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	AC Servo
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen		0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Drehtisch (DT240), Bremse, Probenhalter, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.