XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
Kombinationen aus Industrieachsen

782300:097.26

Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6"

Das System besteht aus zwei Lineartischen PLT240 (X- und Y-Achse) und einem Drehisch DT58 (Phi-Achse). Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Drehtisch mit einem DC-Motor angetrieben.

Ideal zum flexiblen Auf- und Ausbau von Reinraumanlagen

Hohe Genauigkeit bis 0.4 µm / 0.004°

Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bis 1000 mm/s

Besonders geringe Wärmeentwicklung bei häufigen Start und Stop Phasen

Ausgelegt für den wartungsfreien 24/7 Betrieb in Reinraumumgebung

Optionen:

Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
Aufbau mit Z-Achse, Traverse, Gestell und Umhausung
Linearmotor mit Temperaturüberwachung
Anpassung an den Prozess: Verfahrwege, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte, Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Partikelarme Linear-Dreh-Positionierung z.B. für Schneidsysteme, Inspektionssysteme, Halbleiterproduktion, Wafer Dicing & Scribing (Silicon, GaAs, InP, Silica, Glass etc.), Optik, Photonik, Lasertechnik

Spezifikationen

782300:097.26		X	Y	Rz
Standard System		PLT240-200-DLM	PLT240-250-DLM	DT58-DC-R
Verfahrweg	[mm; deg]	200	250	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.4	± 0.4	± 0.004
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.5	± 0.5	± 0.007
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	530	530	100
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1060	1060	150
Max. Last	[N]	150	150	150
Gewicht	[kg]	60
Länge x Breite x Höhe	[mm]	600 x 650 x 225
Max. Durchmesser der Probe		150 mm / 6" (optional größer als Sonderausführung)
Führung		Profilschiene	Profilschiene
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	DC Motor
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder
Optionale Zusatzausstattung		Z-Achse (z.B. PMT240) mit Traverse, Linearmotor mit Temperatur-Überwachung, Winkelmesssystem, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.