XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm
Gantries

782300:183.26

Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern

Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise beidseitige Inspektionsprozesse mit je 2 kundenspezifischen Sensoren / Mikroskopen für unterschiedliche Messanwendungen. Die erste Z-Achse befindet sich an der stationären Traverse, der zweite Sensor / Mikroskop ist an der Z-Achse unterhalb der Apertur angebracht. Der luftgelagerte Probenhalter bewegt den Prüfling in XY-Richtung zu der Apertur mit den beiden Sensoren an den Z-Achsen, welche jeweils um 100 mm in der Höhe verstellt werden können.

Ideal für automatische beidseitige Inspektionsprozesse

Ideal für punktuelle, differentielle Höhenmessungen unter kontinuierlicher Bewegung

Beidseitige Z-Senor-Positionierer für die 70 x 100 mm Apertur

Schwingungsgedämpfter Aufbau mit hervorragenden Ablaufwerten für Wiederholbarkeiten bis 1 µm

Reduktion der Emission durch luftgelagerte Probenträger

Überragende Lebensdauer und Wartungsfreiheit bei 24/7-Betrieb

Optional konfigurierbar:

Anpassung der Verfahrwege, Carrier und Längenkombinationen
Sicherheitsumhausung und verschiedene Grundplatten
Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Differentielle Höhenmessung an Konturen von Chips in PCB-Nutzen, Automatisch optische Inspektion z.B. Leiterplatten, Wafer Strukturen, Mikroelektronik, Mikrolinsen, Dünnschicht-Solarzellen, Testsystemen, Erstellung von 3D Oberflächenprofilen, Profilmessung, Schichtdickenmessung, Betrachtung von Oberflächenveränderungen, Rauheit, Krümmung von Oberflächen, 3D Weißlicht-Interferometrie, Inspektion von Medizinischen Implantaten

Spezifikationen

782300:183.26		X	Y	Z1	Z2
Verwendetes Standard System		PLT165-DLM	PLT165-DLM	PMT160-DC	PMT160-DC
Verfahrweg	[mm; deg]	600	600	100	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.4	± 0.7	± 0.2	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 2	± 1	± 0.7	± 0.7
Positoniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	500	500	10	10
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1000	1000	20	20
Max. Last	[N]			150	150
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	DC-Motor	DC-Motor
Antrieb				Kugelgewindetrieb	Kugelgewindetrieb
Führung		Profilschiene	Profilschiene	Kreuzrolle	Kreuzrolle
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Apertur	[mm]	70 x 100
Lange x Breite x Höhe	[mm]	1850 x 1920 x 1150

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.