Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen

Dieses sehr steife XYZ Gantry ist speziell für die hochpräzise rasterkraftmikroskopische Untersuchung (AFM) von besonders großen Glasproben entwickelt. Über der u-förmigen Probenplattform befindet sich eine bewegliche Traverse in Z für das kundenspezifische AFM. Der Cantilever lässt sich exakt zur Probe ausrichten und zu jedem beliebigen Punkt innerhalb der U-Form zur Erfassung des Oberflächenreliefs bewegen. Die Luftlagerung sorgt für exzellente Stellgenauigkeit in der Ebene. Das maximale Probengewicht beträgt 500 kg.

Atomare Stabilität für anspruchsvolle Messungen

Wartungsfrei und stabil durch Luftlagertechnik

Die Traverse bewegt sich auf speziell entwickelten Luftlagern. Sie schwebt auf einem ca. 5 µm dicken Luftspalt und arbeitet so praktisch berührungslos und verschleißfrei. Das garantiert eine sehr hohe Lebensdauer. Mithilfe der Luftlager kann eine extreme Steifigkeit erreicht werden. Sobald der Messkopf in Position gebracht ist, wird die Luft aus den Lagern gelassen und das System durch seine interne Vorspannung fixiert. Auch die gesamte Masse der Querachse liegt dann direkt auf dem Basisgranit auf und sorgt so für höchste Stabilität. Optional können unter dem Granit Füße als extra Schwingungsdämpfer montiert werden, um das System zusätzlich vor Gebäudeschwingungen zu schützen.

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Positionsiersystem Rasterkraftmikroskop (Atomic Force Microscope), Oberflächenanalyse, Analyse Oberflächenrelief, Waferinspektion, Materialwissenschaft

Referenzen

2020/10 Pressebericht "Klein ganz groß"