XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x 200 mm
Inspektion und Mikroskopie

782300:150.26.AB

 

µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung

Der Gantryaufbau ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.200 x 1.400 mm (angepasst an die Aufgabe und den verfügbaren Stellplatz) bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm und ist damit ein Garant für hohen Durchsatz bei gleichbleibender Qualität. In der horizontalen XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren für Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Traverse ist für Lasten bis 10 kg ausgelegt, die Höhe kann dabei je nach Anwendung und Bauteilhöhe bis 500 mm variieren.
 

Vielzahl an individuellen Anpassungsmöglichkeiten

  • Ideale Basis für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung
  • Sehr große Verfahrwege von 1200 x 1400 x 200 mm
  • Hochdynamisch für Spitzengeschwindigkeiten bis zu 1000 mm/s
  • Integrierte Linearmotoren garantieren hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bei gleichzeitig hoher Präzision
  • Hochpräziser und langlebiger Antrieb in Z durch einen geschliffenen Präzisions-Kugelgewindetrieb
  • Leichte Ein- bzw. Anbindung an automatisierte Handlingsysteme
  • Zusätzliche Verkleidung mit integrierter Absaugung bzw. Umhausung für Ausführungen bis Reinraumklasse ISO 6
Optional erweiterbar:
  • Anreihbare Systemausführung
  • Anpassung der Verfahrwege, Längenkombination, Verkabelung und Steuerung
  • Kombination mit Hubtischen und/oder Drehachsen für die Inspektion komplexer Geometrien
  • Bereitstellung von kundenspezifischen Schnittstellen für teil- oder hochautomatisierte Halbleiterfabriken
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Hochdynamische Laseranwendungen, Qualitätsinspektion, Metrologie, Prozessüberwachung, Wafer-Inspektion, Bondkontrolle, Optische Mikroskopie, Vermessung von Oberflächen, Mikrolaserfügen, Mikrolaserschweißen, Lasermikrobearbeitung, Mikrolaserschneiden

 

782300:150.26   X Y Z
Standard System   LA250 LA250 PLT240
Verfahrweg [mm] 1200 1400 200
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.8 ± 0.8 ± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 1 ± 1 ± 1
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 500 500 50
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 1000 1000 100
Max. Last [N]     150
Gewicht [kg] 7200
Länge x Breite x Höhe [mm] 2430 x 2260 x 1430
Max. Probengröße [mm] 1200 x 1400 / GEN 5
Führung   Profilschiene Profilschiene Kreuzrolle
Spindel Typ   1416/5.20.385.525 P3P (DIN 69051)
Spindel Steigung   5
Antrieb   Linearmotor Linearmotor Servomotor, Kugelgewindetrieb
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos) Dynamischer Linearmotor (eisenlos) AC Servo
Feedback   Linearmesssystem Linearmesssystem Motor-Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept


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