XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm
Inspektion und Mikroskopie

782300:148.26.oem

Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem (hier ohne Abdeckung gezeigt) ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer Wafer, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor in Z wird relativ zur Probe oder dem Carrier auf der Linearachse verfahren. Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen.

Erhöhter Throughput durch automatisierte 24/7 Inspektion

Ideal für die Gleichzeitige Inspektion mehrerer Wafer, Probecards und Leiterplatten

Verringerung der Zykluszeit mit Geschwindigkeiten bis zu 750 mm/s und Beschleunigungen mit 2 m/s²

Präzise Messergebnisse und enorme Qualitätssteigerungen mit Wiederholgenauigkeiten bis 1 µm

Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexible Wartung durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Optional erweiterbar:

Verschiedene Verfahrwege bis 720 mm
Optional mit motorisierter Z-Achse
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 2 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium
Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Inspektion großer Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chip, Messung von Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

Spezifikationen

782300:148.26		X	Y	Z
Verwendetes Standardsystem		PMT290-EDLM	PMT290-EDLM
Verfahrweg	[mm; deg]	720	720	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.3	± 0.3	± 1.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.7	± 0.7	± 2.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	750	750	150
Spitzengeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1500	1500	300
Max. Last	[N]	150	150	± 200
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	AC Servo
Antrieb				Kugelgewindetrieb
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.