Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse

Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich für verschiedene Test- und Prüfprozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung bis Reinraum Klasse ISO 2 einsetzen. Aufgrund der Auslegung der Verfahrwege auf bis 320 x 320 mm in XY eignet er sich für alle Standard-Wafergrößen bis 12-Zoll. Die Proben werden hochpräzise mit dem linearmotorgetriebenen Kreuztisch KT405-320-EDLM zu einem Laser, Sensor oder Kamera in der Z-Achse manipuliert. Die Justage des Sensors bzw. Kamera erfolgt in vertikaler Bewegung (maximal 50 mm) mit dem Präzisionsmesstisch PMT160-050-DC-R/L, der optional mit einer Schwenkeinheit ergänzt werden kann.

Hochpräzise Prüfung in anspruchsvollen Reinräumen

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsbereiche

Montage/ Inspektion / Qualitätssicherung von 12-Zoll-Wafern, Chipping / Riss- / Defekterkennung, Oberflächenprüfung, Schichtdickenmessung mit einem Sensor, Inspektion von Chips, Dies, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen