XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo
Inspektion und Mikroskopie

782498:001.26

Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern

Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor an der Z-Achse über das Messobjekt. Basierend auf der Linearachse LA250 mit linearen Direktantrieb erreicht dieses System hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei hoher Präzision und sehr guter Reproduzierbarkeit. Für die vertikale Positionierung wird der hochpräzise Lineartisch PLT165-AC mit einem leistungsstarken AC-Servomotor als Antrieb für seinen Präzisionskugelgewindetrieb genutzt. Er besitzt eine hohe Traglast, auch für schwere Sensoren.

Hoher Durchsatz im wartungsarmen 24/7 Betrieb

Ideal zur automatisierten Inspektion großen, flachen Proben z.B. Wafer, Probecards mittels Fahrbrücke

Sehr lange Verfahrwege von 700 x 700 x 200 mm für Lasten bis 15 kg

Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm

Höchste Stabilität für Messungen mit hoher Vergrößerung

Optional erweiterbar:

Verschiedene Verfahrwege bis 2000 mm
Steuerung in Z manuell oder motorisch
Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium
Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsbereiche

Herstellung / Inspektion / Qualitätssicherung kleiner Komponenten, Inspektion von Probecards, Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Chipping / Riss- / Defekterkennung, Oberflächenprüfung, Schichtdickenmessung mit einem Sensor, Pharmainspektion, Vermessung biologischer Proben, Ausrichten und Inspektion von optischen Komponenten, Aufbau von Montagesystemen in der Mikroelektronik, AOI (Automatisch optische Inspektion)

Spezifikationen

782498:001.26		X	Y1	Y2	Z
Verfahrweg	[mm; deg]	700	700	700	200
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 0.2	± 0.2	± 0.2	± 2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 0.3	± 0.3	± 0.3	± 2.5
Positoniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	500	500	500	50
Max. Last	[N]	250	3100	3100	1010
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)	AC-Servo
Antrieb					Kugelgewindetrieb
Spindeltyp		1412.564/5.16.340.445 P5P / 210326
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.