XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm
Inspektion und Mikroskopie

782453:030.26.oem

Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion

Dieses Insspektionssystem besteht aus der XY-Stage KT470 auf einer Granitstruktur mit manueller Z-Vertikaleinheit . Diese Kombination eignet sich für den flexiblen und modularen Aufbau von Produktionsanlagen / Inline-Prozessen für Reinräume und kann wahlweise mit Dreh- oder motorisierten Z-Achsen erweitert werden.

Ideal für flexible Inspektionsprozesse von Wafern bis 12 inch / 300 mm

Halterung für wechselbare Prozessköpfe (Mikroskop, Sensor, ...)

Verschiedene Scanbereiche und manuelle Höhenverstellung (wahlweise motorisiert mit Motion Controller)

Wartungsarm bei 24/7-Produktion bis Reinraumklasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Optionen:

Erweiterbare Verfahrwege XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm
Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung zusätzlicher (motorisierter) Z-Achsen
Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfern
Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Individueller Aufbau mit Gestell, Umhausung oder Einbindung in die Fab
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Wafer Inspektion bis Reinraum ISO 6 (Probengröße bis 12 inch / 300 x 300 mm), Wafer Vermessung, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, Probecards und Leiterplatten, Qualitätssicherung, Mikroskopie im Reinraum, Oberflächenprüfung, Oberflächenprüfung, Untersuchung von Ablagerungen, Kratzern, Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche

Spezifikationen

782453:030.26		X	Y	Z
Standard System		KT470-SM	KT470-SM	-
Verfahrweg	[mm]	305	305	200
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.3	± 2.3	14
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 3.3	± 3.3	20
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	20	20	-
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	40	40	-
Max. Last	[N]	227	227	196
Gewicht	[kg]	325
Max. Probengröße	[Ø]	12 inch / 300 mm
Länge x Breite x Höhe	[mm]	500 x 950 x 740
Spindel Typ		Kugelgewindetrieb 1214.511/1.12.361.412 P5P / 225177		Gleitgewindetrieb
Spindel Steigung		1	1
Führung		Kreuzrolle	Kreuzrolle
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Kurbel
Feedback		Open Loop	Open Loop
Optionale Zusatzausstattung		Verfahrwege 200 - 350 mm, Adaptionsplatte, Chuck, Grundplatte (Granit / Aluminium), Gestell, Umhausung, angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfern Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
Reinraum Varianten		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Strahlung Varianten		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.