6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
Inspektion und Mikroskopie

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6-Achs-Positionierung für Halbleiter

Dieses 6-Achsen-Positioniersystem ermöglicht präzise und hochkompakte Ausrichtung eines schweren Messkopfes z.B. Mikroskop und der Probe zueinander. Es wird direkt auf eine vorhandene kundenspezifische Maschinenbasis (Wafer Prober) aufgesetzt. Das Mikroskop ist an einer Traverse über den Aligner angebracht. Dieser besteht aus einem Kreuztisch in der Horizontalen sowie einem Tripod für Vertikalhub und zwei Kippungen und kombiniert damit die Stärken kartesischer und parallelkinematischer Konstruktionen in einem System und kontinuierlicher Drehung um Z.

Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern und Optiken bis 300 mm / 12"

Hochkompakte und steife Positionierung auf 720 x 600 x 552 mm (Bauraum)

Ausgelegt für den Einsatz im 3-Schicht-Betrieb bis Reinraum Klasse ISO 4

Optionen:

Motorisiertes XYZ-Positioniersystem für das Mikroskop
Sonderausführung für Proben bis 450 mm / 18"
Verschiedene Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Modulares Mehrachssystem mit kundenspezifischen / auswechselbaren Prozessköpfen
Verschiedene Probenhalter, Einbindung in Workflows
Anwendungsspezifisch getestet und sofort einsatzbereit mit Plug-and-Play-fähigem Motion Controller inkl. Beispielsoftware
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Anwendungsfelder

Halbleiterinspektion, MEMS-Prober Testing, Ausrichten, Alignment, Wafer, Optiken, Manipulator, Parallelkinematik, Testing und Bonding auf Wafern und PCB, Kombinationen von optischer Inspektion und Bearbeitung z.B. beim Chip-on-Board Bonding (Messmikroskop und Laserlöten)

Spezifikationen

786015:009.26		X	Y	Z	Rx	Ry	Rz
Standardsystem		MT95	MT95	3x MT95	3x MT95	3x MT95
Verfahrweg	[mm; deg]	30	30	20	4	4	360 x n
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 1.5	± 1.5	± 1.5	0.0004	0.0004	0.05
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 3.5	± 3.5	± 3.5	0.001	0.001	0.1
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1.1	1.1	1.1	0.3	0.3	100
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	2	2	2	0.5	0.5	200
Max. Last	[N]	65	65	100	65	65	20
Motor		DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	DC-Motor	Schrittmotor
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen	Kugelgewindetrieb 1112, Riemen
Feedback		Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	Motor-Encoder	ohne
Apertur Durchmesser	[mm]	250 (optional größer als Sonderausführung)
Max. Durchmesser der Probe	[mm] [inch]	300 12 (450 mm / 18" optional als Sonderausführung)
Länge x Breite x Höhe	[mm]	720 x 600 x 552

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.