Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm
Inspektion und Mikroskopie

782430:002.26.oem

Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12"

Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm erlaubt die gleichzeitige hochdynamische Prüfung mehrerer 300 mm / 6" Wafer. Das komplett betriebsbereite Achssystem, bestehend aus den Achsen, der Granitbasis mit Portal, dem Kabelmanagement und dem Motion Controller ist kundenspezifisch konfigurierbar.

Automatisierte Inspektion im 3-Schicht-Betrieb

Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern mit:
- je 2x X-Achsen für Scanner / Mikroskope bis 25 kg
- je 2x Y-Achsen für Chucks bis 23 kg

Hochdynamische Fahrten bis max. 1000 mm/s bei Verfahrwegen bis 720 mm

Ausgelegt für den Einsatz im 3-Schicht-Betrieb bis Reinraum Klasse ISO 2

Wartungsarm durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Optional erweiterbar:

Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
Verfügbar auch als Einzelportal
Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware
Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Inspektion von Wafer und Masken bis 12 inch / 300 mm, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung

Spezifikationen

782430:002.26		X	Y	Z
Standard System		PMT290-EDLM	PMT290-EDLM
Verfahrweg	[mm]	720	720	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 1.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.7	± 0.7	± 2.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	750	750	150
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	1500	1500	300
Max. Last	[N]	150	150	± 200
Max. Probengröße	[Ø]	12 inch / 300 mm
Länge x Breite x Höhe	[mm]	1230 x 1200 x 1030
Antrieb		Linearmotor	Linearmotor	Servomotor, Kugelgewindetrieb
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	Dynamischer Linearmotor (eisenlos)	AC Servo
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Motor-Encoder
Reinraum Varianten		bis ISO Klasse 2
Strahlung Varianten		auf Anfrage

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.