Optische & aktive Ausrichtung (optical & active alignment)
Klassische Positioniersysteme bewegen sich bekanntermaßen in X-, Y- und Z- Richtung mit einem Antrieb pro Achse. Wenn es darum geht, noch mehr Freiheitsgrade auf engstem Bauraum mit kleinen Verfahrwegen hochgenau zu verstellen, führt meist kein Weg an parallelkinematischen Konzepten vorbei.
Wir entwickeln für Ihre Anwendung maßgeschneiderte parallelkinematische Positioniersysteme für die aktive Ausrichtung und Montage von Optiken z.B. Justage, Montage und Positionierung von Linsen in Kameras, CCD-Sensoren, Faser-Positionierung, Ausrichtung von Siliziumphotonik-Strukturen zum Wafer Test, MEMS-Prober und viele weitere Montage- und Inspektionsaufgaben unter anspruchsvollen Umgebungsbedingungen in hochkompakter Ausführung mit Submikrometer-Präzision.
Mehrachssysteme
Kugel- und Gleitgewindetriebe
EUV know-howMaterialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit | bis 10 Mio. ZyklenLuftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit | 5 NanometerUnd noch höhere Präzisionfür sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen |
Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton
- Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf
- Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie
- Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software
- Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche
Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse

Reinraumsysteme bis ISO 2
Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 2.
Mehr zur Serienentwicklung
Vakuum-Standardachsen bis 10-12
Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.
Zu den Vakuum-Standardachsen
Individuelle Lebensdauertestss
Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.
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