XYZ-Positioniersysteme für Halbleiterapplikationen

Wir bieten spezielle orthogonale Mehrachssysteme, Gantry-Systeme in unterschiedlichen Genauigkeitsklassen mit und ohne Luftlager und auch Multiachskombinationen, die alle Freiheitsgrade der Bewegung ermöglichen. Entsprechend Ihren Anforderungen wählen wir den passen Controller aus und liefern das Mehrachssystem vollständig in Betrieb genommen und getestet.

 

Kundenspezifische Positioniersysteme

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage
Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage Hochpräzise automatisierte Montage von miniaturisierten Komponenten Dieser industrietaugliche...
2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung
2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung Positionierungshaltegenauigkeit im Nanometerbereich Diese hochstabile Montageanlage für...
Handling-System für organische LEDs
Handling-System für organische LEDs Aus Platzgründen sind zwei Rahmen ineinandergeschachtelt und seitlich auf Drehantrieben montiert,...
Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm
Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x… Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm...
XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm
XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm … Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion Dieses Insspektionssystem besteht aus der...
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200… Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate...
6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° … 6-Achs-Positionierung für Halbleiter Dieses 6-Achsen-Positioniersystem ermöglicht präzise und...
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist...
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm … Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen Dieses Inspektionssystem (hier ohne...
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x 200 mm
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x… µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung Der Gantryaufbau ermöglicht...
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo … Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine...
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2)
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich...

Mehrachssysteme

MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm
MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x… Hochauflösender Mikropositionierer Das Positioniersystem MP53 ist ein miniaturisiertes...
MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm | Hub 25 x 25 x 25 mm
MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm… Extrem kompaktes 3-Achs-Justiersystem Dieses miniaturisierte XYZ-System ist ideal für...
MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Linearmesssystem | Repro ± 1.5 µm | Hub 40 x 40 x 40 mm
MP95-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Linearmesssystem | Repro ± 1.5 µm… Hochpräzises kartesisches XYZ-System Das XYZ-Positioniersystem ist ein kartesisch angeordnetes...
MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm | Hub 50 x 50 x 50 mm
MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm |… Hochdynamisches 3-Achs-Justiersystem: bis 45 N Last, DC-/Schrittmotor mit opitmierter...
MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5°
MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2… Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine...
MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5°
MP200-3 Miniatur-Z-Phi-Delta-Positioniersystem, Tripod | Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Hub 2 mm x 1.5° x 1.5° … Tripod mit Durchlicht Als Ergänzung zum Aligner MP200-5, welcher ein Verstellen in fünf...
5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100 mm, Z 4 mm, Rx Ry 4°
5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100… Tripod auf XY Stage mit Apertur Dieser Aligner ist mit 5 Freiheitsgraden konstruiert. Der Tripod...
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150… Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines...
6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod… 6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12" Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem...
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° … Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Mit diesem Aligner werden zwei translative...
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100… Universelles XYZ Positioniersystem für präzise Positionieraufgaben Der kundenspezifische...
XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor, Linearmessystem
XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor, Linearmessystem … Hochpräzise Messungen auch bei variablen Lasten Dieses XYZ Positioniersystem wurde speziell für...
XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z Manuell | Hub 200 x 200 x 70 mm
XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z Manuell | Hub 200 x 200 x 70… Hochpräzise Prüfvorrichtung für vielseitige Messaufgaben Dieses 3-Achs-Positioniersystem wurde für...
X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem
X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor,… Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen Dieses X-Phi-Positionierssystem besteht aus...
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm… Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses vielfältig adaptierbare Gantry für die...
XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo | Hub 1200 x 1400 x 200 mm
XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo |… Hochdynamisches XYZ Positioniersystem für Laserapplikationen Dieses Gantry ermöglicht...
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x… Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise...
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb,… Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen Dieses sehr steife XYZ Gantry ist...
XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub 720 x 720 x 100 mm
XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub 720 x 720 x 100 mm … Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen Dieses Inspektionssystem (hier ohne...
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Verfahrwege in XY bis 650 mm, Z 100 mm
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Verfahrwege in XY… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist...
XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene, Linearmesssystem | Z Kreuzrolle | Hub 1000 x 1000 x 100 mm
XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene, Linearmesssystem | Z Kreuzrolle |… Hochpräzise Messaufgaben auf 1000 x 1000 mm Dieses Positioniersystem bewegt einen Vakuumchuck auf...
XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo, Kugelgewindetrieb, Linearmessystem | 300 x 200 x 100 mm
XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo, Kugelgewindetrieb, Linearmessystem… XY-2Z Positioniersystem für den hochpräzisen 3D-Druck Dieses kompakte und hochdynamische...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112
KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1214
KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1412 / 1432
KGT 1412 / 1432 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1510
KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit 2-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 2422
KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung, zweigängig ...
KGT ETA+
KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit reduzierter Reibung und hoher Steifigkeit ...
KGT 1416
KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt
KGT 2412
KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung ...