Wafer und Chip Inspektion
Für Sie finden wir kundenspezifische Lösungen für die berührungslose optische Inspektion von Wafern, Probe Cards, Dies und Mikrochipkomponenten. Hierzu bieten wir Systeme zur Schichtdickenmessung, Kontaktierungsprüfung, elektrische Charakterisierung, Messkopfpositionierung, Probenmanipulation und Vermessung von Wafer-Mikrostrukturen im Nanometerbereich.
Technische Möglichkeiten im Überblick:
- Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Achsen
- Sicherheitskonzept und -technik
- Individueller Aufbau mit Gestell, Umhausung, Einbindung in die Fab
- Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
EUV know-howMaterialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit | bis 10 Mio. ZyklenLuftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit | 5 NanometerUnd noch höhere Präzisionfür sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen |
Kundenspezifische Positioniersysteme
Mehrachssysteme
Standard Achsen & Tische
Vakuum / Reinraum
Kugel- und Gleitgewindetriebe
Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton
- Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf
- Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie
- Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software
- Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche
Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse

Reinraumsysteme bis ISO 2
Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 2.
Mehr zur Serienentwicklung
Vakuum-Standardachsen bis 10-12
Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.
Zu den Vakuum-Standardachsen
Individuelle Lebensdauertestss
Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.
Mehr zu Test und Messung