Wafer und Chip Inspektion / Vermessung

Für Sie finden wir kundenspezifische Lösungen für die berührungslose optische Inspektion von Wafern, Probe Cards, Dies und Mikrochipkomponenten. Hierzu bieten wir Systeme zur Schichtdickenmessung, Kontaktierungsprüfung, elektrische Charakterisierung, Messkopfpositionierung, Probenmanipulation und Vermessung von Wafer-Mikrostrukturen im Nanometerbereich.

 


Kundenspezifische Positioniersysteme

Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm
Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x… Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm...
XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm
XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm … Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion Dieses Insspektionssystem besteht aus der...
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm
XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200… Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate...
6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° … 6-Achs-Positionierung für Halbleiter Dieses 6-Achsen-Positioniersystem ermöglicht präzise und...
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm
XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist...
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm
XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm … Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen Dieses Inspektionssystem (hier ohne...
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x 200 mm
XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x… µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung Der Gantryaufbau ermöglicht...
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo
XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo … Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine...
X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch
X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und… Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung Dieses X Phi System erlaubt die Positionierung von...
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2)
XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich...
Inspektionssystem für Solar-Wafer
Inspektionssystem für Solar-Wafer Positionierung eines Wafers mit Vakuumchuck Mit einem KT305-EDLM und einer darauf befindlichen...

Mehrachssysteme

MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg
MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm… Kardan auf XY Stage mit Apertur Dieser XY Phi Delta Aligner besteht aus drei zwei vertikal...
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm
MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150… Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines...
6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360°
6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod… 6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12" Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem...
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° … Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Mit diesem Aligner werden zwei translative...
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm
XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100… Universelles XYZ Positioniersystem für präzise Positionieraufgaben Der kundenspezifische...
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm
XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm… Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses vielfältig adaptierbare Gantry für die...
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm
XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x… Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise...
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb,… Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen Dieses sehr steife XYZ Gantry ist...
XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 300 x 300 mm x 360°
XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor |… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XY Phi Positioniersystem besteht aus...
XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45°
XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle,… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus...
XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360° … Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6" Das System besteht aus zwei Lineartischen...

Standard Achsen & Tische

PLT165-SM
PLT165-SM Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 - 500 mm, Repro ± 3.9 µm, Last 25 kg, Speed 80 mm/s...
PMT160-DC
PMT160-DC Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.7 µm, Last 4,5 kg, Speed 60...
PMT160-SM
PMT160-SM Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.9 µm, Last 15 kg, Speed 20...
DT200-DC - Drehtische
DT200-DC Drehtisch mit sehr flacher Bauform, somit vielseitig kombinierbar. Angetrieben mit einem DC-Motor....
KT470-SM
KT470-SM Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 308 x 308 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 23 kg, Speed...
KT405-EDLM
KT405-EDLM Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 320 x 320 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 150 mm/s ...
DT155-NM
DT155-NM Hochauflösender Drehtisch, Verfahrweg unbegrenzt, Repro bis 0.0003°, Speed bis 300°/s, Last bis...

Vakuum / Reinraum

MT53-PM
MT53-PM Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV / DUV / EUV, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.8 kg,...
DT310
DT310 Flacher Apertur Drehtisch HV, DUV / EUV, Reinraum ISO 5, n x 360°, Repro 0.004°, Speed 59°/s, Last...
KDT310-SM-HV
KDT310-SM-HV Präziser Schwerlast-Kreuztisch HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed...
DT155
DT155 Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep...
HDT255
HDT255 Durchlicht-Hubtisch UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s ...
KT106/170-SM
KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s ...
KDT105
KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm...
KT105
KT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg...
MT130
MT130 EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm,...
LT300
LT300 Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm...
LA170
LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm...
LA97
LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg...
LA95
LA95 Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO 4,  Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg,...
LA85
LA85 Fokus-Linearachse HV / DUV, Reinraum ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 1.6 µm, Speed 60 mm/s, Last 4 kg...
DT230-SM
DT230-SM Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro...
LA80
LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm...
XYZ Transfer Stage
XYZ Transfer Stage Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm...
3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112
KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
GGT M4x1P0.5
GGT M4x1P0.5 Reinraum ISO3, bis 10E-11 mbar, Länge 112 mm, 0.1 mm Steigung, 0.002 kN Last ...
KGT 1214
KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1412 / 1432
KGT 1412 / 1432 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1510
KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit 2-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 2422
KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung, zweigängig ...
KGT ETA+
KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit reduzierter Reibung und hoher Steifigkeit ...
KGT 1416
KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt
KGT 2412
KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung ...