Halbleiter Fertigung & Handling

Für Sie entwickeln wir kundenspezifische Lösungen in der Standard-, Elektronenstrahl- und EUV-Lithografie. Für den Aufbau Ihres Systems oder für die Integration in Ihre Anwendung. Hierzu bieten wir Systeme zur Strahlformung, Strahlhomogenisierung bzw. -gleichformung und Zoom z.B. Justage für Microstructuring, Stahlen sowie Linsen Maskenpositionierung oder Filtereinstellung.

 

Kundenspezifische Positioniersysteme

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage
Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage Hochpräzise automatisierte Montage von miniaturisierten Komponenten Dieser industrietaugliche...
DUV-Polarisationsfilter für die Miniaturisierung in der Halbleiter-Lithografie | Positioniersystem zur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreier Reinstickstoff-Atmosphäre
DUV-Polarisationsfilter für die Miniaturisierung in der Halbleiter-Lithografie | Positioniersystem zur… Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell als...
XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener Stickstoffatmosphäre
XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener… µm-Justage für Microstructuring unter extremen Bedingungen Dieses 3-Achs-Maskensystem ist speziell...
Kompakter 3D Masken Aligner für SMT Halbleiter Druck / Lithographie | XY Phi Positioniersystem (Reinraum, UV) für 650 x 650 mm / GEN 3
Kompakter 3D Masken Aligner für SMT Halbleiter Druck / Lithographie | XY Phi Positioniersystem (Reinraum, UV) für… Kompakte und präzise Justage mit hohem Durchsatz Mit diesem 225 mm flachen Aligner werden zwei...
Handling-System für organische LEDs
Handling-System für organische LEDs Aus Platzgründen sind zwei Rahmen ineinandergeschachtelt und seitlich auf Drehantrieben montiert,...
Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum
Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum … Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für...

Mehrachssysteme

MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg
MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm… Kardan auf XY Stage mit Apertur Dieser XY Phi Delta Aligner besteht aus drei zwei vertikal...
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° … Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Mit diesem Aligner werden zwei translative...
MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5°
MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5° … Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit großer Apertur Mit diesem flachen Aligner werden zwei...
XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 300 x 300 mm x 360°
XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor |… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XY Phi Positioniersystem besteht aus...
XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45°
XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle,… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus...
XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb, Schrittmotor | Z Gleitgewindetrieb | Hub 305 x 305 x 200 mm
XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb, Schrittmotor | Z… Modulares, reinraumtaugliches 3-Achs-System Dieses Positioniersystem besteht aus der XY-Stage...
XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360° … Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6" Das System besteht aus zwei Lineartischen...

Standard Achsen & Tische

DT155-NM
DT155-NM Hochauflösender Drehtisch, Verfahrweg unbegrenzt, Repro bis 0.0003°, Speed bis 300°/s, Last bis...

Vakuum / Reinraum

MT53-PM
MT53-PM Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV / DUV / EUV, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.8 kg,...
DT310
DT310 Flacher Apertur Drehtisch HV, DUV / EUV, Reinraum ISO 5, n x 360°, Repro 0.004°, Speed 59°/s, Last...
DT155
DT155 Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep...
HDT255
HDT255 Durchlicht-Hubtisch UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s ...
KT106/170-SM
KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s ...
KDT105
KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm...
KT105
KT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg...
MT130
MT130 EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm,...
LA170
LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm...
PLT240
PLT240 Präzise Hochlast-Linear-Stage HV / UV / DUV, ISO 6, Hub 50 - 850 mm, Last 100 kg, Repro 0.4 µm,...
LA97
LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg...
LA105
LA105 Linear- mit Piezo-Offset-Stage HV / UV / DUV, ISO 3, Hub 7 - 100 mm, Last 3 kg, Repro ± 0.002 µm,...
LA95
LA95 Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO 4,  Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg,...
DT230-SM
DT230-SM Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro...
LA80
LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm...
XYZ Transfer Stage
XYZ Transfer Stage Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm...
3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112
KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
GGT M4x1P0.5
GGT M4x1P0.5 Reinraum ISO3, bis 10E-11 mbar, Länge 112 mm, 0.1 mm Steigung, 0.002 kN Last ...
KGT 1214
KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1412 / 1432
KGT 1412 / 1432 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 1510
KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit 2-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...
KGT 2422
KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung, zweigängig ...
KGT ETA+
KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit reduzierter Reibung und hoher Steifigkeit ...
KGT 1416
KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt
KGT 2412
KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung ...