Positionierlösungen für die Wafer- und Chip-Herstellung

Für Sie finden wir die technisch beste Lösung, um Ihren Durchsatz zu erhöhen und Inspektionsprozesse effektiver zu gestalten. Die Systeme entwickeln wir kundenspezifisch auf Ihre Anwendung, vom Testlabor bis zur automatisierten Halbleiterfabrik bis zu ISO 14644-1 bis Klasse 1. Nutzen Sie unsere erprobten Lösungen für anspruchsvolle Bedingungen wie HV, UHV und EUV bis 10^-12mbar.

Wählen Sie Ihre Anwendung

Standard-, Elektronenstrahl- und
EUV-Lithografie

Wafer und Chip Inspektion >

HV, UHV, EUV Positionierung
bis 10E-12 mbar >

EUV know-how

Materialauswahl, Nanometer-Beschichtung, angepasste Schmierstoffe / Schmierstoffreiheit, Reinheit

bis 10 Mio. Zyklen

Luftlagerung, Lebensdauertests, integrierte Wartungskonzepte / Wartungsfreiheit

5 Nanometer

Und noch höhere Präzisionfür sämtliche XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen

Entdecken Sie unsere Systeme

Kundenspezifische Positioniersysteme

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage Hochpräzise automatisierte Montage von miniaturisierten Komponenten Dieser industrietaugliche...

DUV-Polarisationsfilter für die Miniaturisierung in der Halbleiter-Lithografie | Positioniersystem zur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreier Reinstickstoff-Atmosphäre — DUV-Polarisationsfilter für die Miniaturisierung in der Halbleiter-Lithografie | Positioniersystem zur… Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell als...

2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung Positionierungshaltegenauigkeit im Nanometerbereich Diese hochstabile Montageanlage für...

XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener Stickstoffatmosphäre — XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener… µm-Justage für Microstructuring unter extremen Bedingungen Dieses 3-Achs-Maskensystem ist speziell...

Kompakter 3D Masken Aligner für SMT Halbleiter Druck / Lithographie | XY Phi Positioniersystem (Reinraum, UV) für 650 x 650 mm / GEN 3 — Kompakter 3D Masken Aligner für SMT Halbleiter Druck / Lithographie | XY Phi Positioniersystem (Reinraum, UV) für… Kompakte und präzise Justage mit hohem Durchsatz Mit diesem 225 mm flachen Aligner werden zwei...

Handling-System für organische LEDs Aus Platzgründen sind zwei Rahmen ineinandergeschachtelt und seitlich auf Drehantrieben montiert,...

MP70-3 Rotativ-Justageeinheit mit drei Freiheitsgraden Mit drei Exzentertrieben werden hier drei rotative...

Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum … Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für...

XYZ Positioniersystem für die Wafer-Inspektion bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO 6) | Hub 305 x 305 x 200 mm … Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion Dieses Insspektionssystem besteht aus der...

XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm — XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200… Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate...

2X-Y-Ys (XYZ) Positioniersystem für die Wafer-Inspektion / Raman-Spektroskopie bis 12"/ Panel (Reinraum ISO 4) | Hub 400 x 400 mm — 2X-Y-Ys (XYZ) Positioniersystem für die Wafer-Inspektion / Raman-Spektroskopie bis 12"/ Panel (Reinraum ISO 4) |… Das 2X-Y-Ys(Z) Positioniersystem ermöglicht hochauflösende Bewegungen in XYZ für Proben bis 400 x...

6-Achs Halbleiter Inspektion Positioniersystem (Reinraum Klasse ISO 4) | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° … 6-Achs-Positionierung für Halbleiter Dieses 6-Achsen-Positioniersystem ermöglicht präzise und...

Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm — Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x… Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12" Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm...

XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x 200 mm — XYZ Positioniersystem zur Inspektion & Vermessung mittels Laser, Optik z.B. Solarzellen, Wafer | Hub 1200 x 1400 x… µm-genaue Bahnfahrten und Nanometer-Stabilität bei der Messung Der Gantryaufbau ermöglicht...

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x 100 mm — XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Hub 650 x 650 x… Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist...

XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum) | Hub 720 x 720 x 100 mm … Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen Dieses Inspektionssystem (hier ohne...

XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo … Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine...

X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch — X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und… Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung Dieses X Phi System erlaubt die Positionierung von...

XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2) Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich...

3D-Scanner für EMV-Messung von Hochfrequenzelektronik Diese Maschine wird von uns vollständig montiert und in Betrieb genommen. Im Inneren befindet sich...

Inspektionssystem für Solar-Wafer Positionierung eines Wafers mit Vakuumchuck Mit einem KT305-EDLM und einer darauf befindlichen...

Mehrachssysteme

MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm | Hub 25 x 25 x 25 mm — MP63-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ DC-Motor / Schrittmotor, Gleitgewindetrieb | Repro ± 0.8 µm… Extrem kompaktes 3-Achs-Justiersystem Dieses miniaturisierte XYZ-System ist ideal für...

MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm | Hub 50 x 50 x 50 mm — MP130-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | DC-Motor/ Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Repro ± 2.3 µm |… Hochdynamisches 3-Achs-Justiersystem: bis 45 N Last, DC-/Schrittmotor mit opitmierter...

MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5° — MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2… Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine...

5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100 mm, Z 4 mm, Rx Ry 4° — 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, Tripod auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 100 x 100… Tripod auf XY Stage mit Apertur Dieser Aligner ist mit 5 Freiheitsgraden konstruiert. Der Tripod...

MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem, kartesisch mit Rz-Korrektur, magnetfrei | XY-Rz Piezomotor, Linearmesssystem — MP53-2-1 Miniatur-XY-Phi-Positioniersystem, kartesisch mit Rz-Korrektur, magnetfrei | XY-Rz Piezomotor,… Kleinste Stellinkremente in X und Y und Rotation um Z Phi-XY-System mit Piezomotor Dieser...

MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150 mm / 5" | Hub 25 x 25 x 25 mm — MP210-3 XYZ-Positionierer, temperaturstabil 0 - 40°C | DC-Motor, Gleitgewindetrieb, Linearmesssystem | Apertur 150… Kompakter XYZ-Versteller für Proben bis 5" Dieses XYZ System erlaubt die Positionierung eines...

Z-Phi Dreh-Hub-Aktuator mit integrierter Steuerung (Reinraum ISO 8) | Z Linearmotor, Induktiver Sensor | Rz Schrittmor, Riemen | Hub - 14 mm x 360° — Z-Phi Dreh-Hub-Aktuator mit integrierter Steuerung (Reinraum ISO 8) | Z Linearmotor, Induktiver Sensor | Rz… Linear- und Rotationsbewegungen präzise kombiniert Mit diesem Z-Phi-Positionierer können präzise...

6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 30 x 30 x 20 mm, RxRy 4°, Rz 360° — 6-Achs Miniatur-XYZ-Theta-Phi-Delta Positioniersystem (Reinraum ISO 5) | Tripod, Drehtisch, XY- Stage, Hexapod… 6-Achs-Ausrichtung von Wafern und Optiken bis 12" Der 6-Achs-Manipulator besteht aus einem...

MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° … Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb Mit diesem Aligner werden zwei translative...

MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5° … Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit großer Apertur Mit diesem flachen Aligner werden zwei...

XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100 mm — XYZ Universal Gantry | XY Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Hub 600 x 600 x 100… Universelles XYZ Positioniersystem für präzise Positionieraufgaben Der kundenspezifische...

XYZ Gantry System für 3D Automatisierung | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo | Hub 700 x 700 x 200 mm — XYZ Gantry System für 3D Automatisierung | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo | Hub 700… Hochpräzise, universelle 3D-Überkopfanwendungen Dieses 3-Achs-Positioniersystem lässt sich...

XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z Manuell | Hub 200 x 200 x 70 mm — XYZ Mikroskopie- und Prüfstation | XY DC Motor, Kugelgewindetrieb, Linarmessystem | Z Manuell | Hub 200 x 200 x 70… Hochpräzise Prüfvorrichtung für vielseitige Messaufgaben Dieses 3-Achs-Positioniersystem wurde für...

X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem — X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor,… Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen Dieses X-Phi-Positionierssystem besteht aus...

XYZ System für Labor- und Waferinspektion | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle, Linearmesssystem … Hochpräzises und modulares 3-Achs-System Diese XYZ-Kombination besteht aus den hochpräzisen und...

XYZ Mehrachs-Gantry-System | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo | Hub 500 x 700 x 100 mm… Hochgeschwindigkeits-Mehrachs-Gantry-System Dieses vielfältig adaptierbare Gantry für die...

XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo | Hub 1200 x 1400 x 200 mm — XYZ Gantry für hochdynamische Laser-Anwendungen | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo |… Hochdynamisches XYZ Positioniersystem für Laserapplikationen Dieses Gantry ermöglicht...

XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm — XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x… Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise...

XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor — XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb,… Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen Dieses sehr steife XYZ Gantry ist...

XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 300 x 300 mm x 360° — XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor |… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XY Phi Positioniersystem besteht aus...

XYZ Doppel-Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo — XYZ Doppel-Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC… Hochpräzise Qualitätssicherung mit hohem Durchsatz für Reinraumanwendungen Dieses...

XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45° — XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle,… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm / 6" Das XYZ Phi Positioniersystem besteht aus...

XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb, Schrittmotor | Z Gleitgewindetrieb | Hub 305 x 305 x 200 mm — XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb, Schrittmotor | Z… Modulares, reinraumtaugliches 3-Achs-System Dieses Positioniersystem besteht aus der XY-Stage...

Halbleiterinspektion | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor Das System besteht aus einem Lineartisch PLT320 (X-Achse), einem Lineartisch PLT240 (Y-Achse) und...

XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360° … Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm / 6" Das System besteht aus zwei Lineartischen...

XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene, Linearmesssystem | Z Kreuzrolle | Hub 1000 x 1000 x 100 mm — XXL XYZ-Portal mit Vakuum Chuck | XY Schrittmotor, Kugelgewinde, Profilschiene, Linearmesssystem | Z Kreuzrolle |… Hochpräzise Messaufgaben auf 1000 x 1000 mm Dieses Positioniersystem bewegt einen Vakuumchuck auf...

XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo, Kugelgewindetrieb, Linearmessystem | 300 x 200 x 100 mm — XY-2Z 3D-Druck Portal (Reinraum) | XY Linearmotor, Linearmessystem | Z AC-Servo, Kugelgewindetrieb, Linearmessystem… XY-2Z Positioniersystem für den hochpräzisen 3D-Druck Dieses kompakte und hochdynamische...

Standard Achsen & Tische

PLT240-DLM High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 1000 mm, Repro 0.4 µm, Last 15 kg, Speed 1815 mm/s...

PLT165-DLM High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 6 kg, Speed 1155 mm/s...

PLT165-AC Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 -Hochlast Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 100 -...

MT130-SM Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s ...

MT130-DC Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 0.7 µm, Last 9 kg, Speed 60 mm/s ...

PMT160-DC Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.7 µm, Last 4,5 kg, Speed 60...

MT105-NM - Miniatur-Lineartische — MT105-NM Mikrotisch für anspruchsvolle Umgebungen. Ausgestattet mit Kreuzrollenführungen und Piezomotor. ...

PMT160-SM Präzisions-Lineartisch (Spindelantrieb), Hub 50 - 300 mm, Repro ± 1.9 µm, Last 15 kg, Speed 20...

KT600-EDLM Hochlast XY Stage (Linearmotor), Hub 450 x 450 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 30 kg, Speed 500 mm/s ...

MT105-PM Mikrotisch mit Kreuzrollenführungen und Piezo LEGS® Motor für anspruchsvolle Umgebungen. ...

PMT160-EDLM Hochpräziser Lineartisch (Linear Motor), Hub 50 - 260 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 1.4 kg, Speed 375...

MT95-DC Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 1.5 µm, Last 6 kg, Speed 2 mm/s ...

MT95-SM Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 2.1 µm, Last 6 kg, Speed 11 mm/s ...

DT200-DC - Drehtische — DT200-DC Flacher Drehtisch (DC-Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 66 mm, Repro ± 0.004°, Last 6.8 kg, Speed...

KT470-SM Hochlast XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 308 x 308 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 23 kg, Speed...

MT63-DC - Miniatur-Lineartische — MT63-DC Mikrotisch für hochpräzise Anwendungen. Angetrieben durch DC-Motor. ...

KT405-EDLM Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 320 x 320 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 150 mm/s ...

MT63-SM - Miniatur-Lineartische — MT63-SM Mikrotisch für hochpräzise Anwendungen. Angetrieben durch einen Schrittmotor. ...

MT53-PM - Miniatur-Lineartische — MT53-PM Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich. ...

PMT160-NM Hochpräziser Lineartisch (Nanomotion), Hub 50 - 250 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 8 kg, Speed 75 mm/s ...

KT310-DC XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 0.7 µm, Last 11 kg, Speed 60 mm/s ...

DT155-NM Hochauflösender Drehtisch (Piezo Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 79 mm / 3“, Repro ± 0.0003°, Last...

DT130-SM Selbsthaltender Drehtisch (Schrittmotor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 25 mm, Repro ± 0.003°, Last 4...

DT130-DC - Drehtische — DT130-DC Selbsthaltender Drehtisch (DC-Motor), Hub n x 360°, Apertur ⌀ 25 mm, Repro ± 0.00007°, Last 4 kg,...

2PLT165-DLM High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 500 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 52 kg, Speed 870...

KDT105-PM XY Piezo-Scanning-Stage, Hub 50 x 50 mm, Apertur 50 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 7.5 mm/s ...

LA85-SM Fokus-Linearachse (Spindelantrieb), Hub 25 - 50 mm, Repro ± 1.6 µm, Last 4.5 kg in X/Y/Z, Speed 60...

Vakuum / Reinraum

MT53-PM Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV / DUV / EUV, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.8 kg,...

MT85-PM Präzisions-Miniatur-Lineartisch 114 x 97 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro...

DT65-NM Hochdynamischer Drehtisch HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub unbegrenzt, Repro bis 0.003°, Speed...

KDT310-SM-HV Präziser Schwerlast-Kreuztisch HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed...

DT155 Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep...

HDT255 Durchlicht-Hubtisch UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s ...

MDT85-PM Apertur-Miniatur-Lineartisch 114 x 84 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 mm, Repro 0.2 µm,...

KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s ...

KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm...

KT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg...

HT240 Präziser Hochlast Hubtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 25 mm, Repro 0.3 µm, 40 kg Last ...

MT130 EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm,...

LT300 Präziser Hochlast Lineartisch HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm...

PLT240 Präzise Hochlast-Linear-Stage HV / UV / DUV, ISO 6, Hub 50 - 850 mm, Last 100 kg, Repro 0.4 µm,...

LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg...

LA105 Linear- mit Piezo-Offset-Stage HV / UV / DUV, ISO 3, Hub 7 - 100 mm, Last 3 kg, Repro ± 0.002 µm,...

LA95 Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO 4, Hub 10 - 185 mm, Repro 0.4 µm, Last 4.5 kg,...

LA92 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg...

HT160 Präziser Hubtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 16 mm, Repro 1 µm, Last 5 kg ...

LA85 Fokus-Linearachse HV / DUV, Reinraum ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 1.6 µm, Speed 60 mm/s, Last 4 kg...

DT230-SM Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro...

LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm...

XYZ Transfer Stage Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm...

YZ Tracking Stage - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme — YZ Tracking Stage YZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System ist trockenlaufend, verfügt über eine...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

GGT M4x1P0.5 Reinraum ISO3, bis 10E-11 mbar, Länge 112 mm, 0.1 mm Steigung, 0.002 kN Last ...

KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1412 / 1432 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit 2-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ...

KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung, zweigängig ...

KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit reduzierter Reibung und hoher Steifigkeit ...

KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt

KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Stirndeckelumlenkung ...

Individuelle Anpassung und Entwicklung Ihrer Innovaiton

Optimale Positionierlösung für Ihre Anwendung mit einem schnellen, kostenfreien 3D-Entwurf
Design von Funktionsmustern, Prototypen bis zur Serie
Integrierte Entwicklung Ihrer Mechanik, Elektronik und Software
Serienfertigung Ihrer Innovation auf > 3.900 m² Produktionsfläche

Mehr zur Serienentwicklung

Anpassung an Ihre spezifischen Prozessbedürfnisse

Reinraumsysteme bis ISO 2

Auf mehr als 100 qm Reinraumfläche fertigen wir ausschließlich hochpräzise und partikelfreie State-of-the-art-Technology für Reinraumsysteme bis ISO 14644-1 Klasse 2.

Mehr zur Serienentwicklung

Vakuum-Standardachsen bis 10^-12

Unsere hochpräzisen modualaren Vakuumachsen für Linear-, Hub-, Dreh-, XY-Positionierungen haben sich über Jahrzehnte bewährt. Sie halten den extremsten Lebensdauertests im 24/7-Betrieb stand.

Zu den Vakuum-Standardachsen

Individuelle Lebensdauertestss

Wir übernehmen für Sie die Durchführung von Lebensdauertests auf unseren zahlreichen Universalmessständen für verschiedene Prüfszenarien in unseren Messtechniklabors.

Mehr zu Test und Messung